最后，为了进一步提高传感性能，增加周围环境与MIM波导结构的接触面积，在单挡板MIM波导耦合到单波导结构的基础上，提出了一种双边耦合谐振腔MIM波导结构。 T形腔体。在此基础上，阐述了表面等离子体MIM波导耦合谐振腔机理和Fano谐振原理，构建了含金属挡板的MIM波导耦合矩形谐振腔Fano谐振传感结构。

金属-绝缘体-金属（MIM）波导是一种典型的表面等离子体波导。结合SPP的特性，可以实现对亚波长尺寸光子的控制。摘要：表面等离子体激元（SPP）是入射光与金属表面自由电子相互作用产生的一种集体振荡形式。

该波导结构可以实现不同波段光子的同时调制，同时为研究MIM波导耦合上下T腔双边耦合波导结构提供了一定的理论基础。本文采用表面等离子体MIM波导作为传感结构，以Fano共振效应作为传感基础。探索了从单面耦合谐振腔波导结构到双面耦合谐振腔波导结构，从单一Fano谐振效应到多个独立可调谐Fano效应。共振效应。

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